MEMS电磁力驱动器及其制备方法

本发明公开一种MEMS电磁力驱动器，包括一端为固定端另一端为悬空端的长方形线圈状悬臂梁、外电路输入电极、外电路输出电极、悬臂梁输入电极和悬臂梁输出电极，一绝缘垫高层位于覆盖于悬臂梁输入电极和悬臂梁输出电极上表面，绝缘垫高层具有输入通孔、输出通孔，位于所述线圈状悬臂梁固定端的输入端通过位于输入通孔内的导电柱与悬臂梁输入电极电连接，位于所述线圈状悬臂梁固定端的输出端通过位于输出通孔内的导电柱与悬臂梁输出电极电连接，线圈状悬臂梁下表面、输入通孔侧表面、输出通孔侧表面均覆有Si3N4绝缘层，线圈状悬臂梁上表面覆有Si3N4保护膜。本发明延长了器件的使用寿命，大大降低了电荷累积问题，减少了故障率，机械强度高，其驱动间隙变化大，实现了低驱动电压或者低驱动电流运行。