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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种平面气敏传感元件及其制备方法
申请号 | CN201510284530.8 | 分类号 | |
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申请日期 | 2015-05-29 | 有效期 | |
公开日期 | 2018-03-30 | 公开号 | CN104833707B |
发明人/设计人 | 邵**涛 | 权利人 | 南**学 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明公开了一种平面气敏传感元件及其制备方法。该平面气敏传感元件采用负载CVD石墨烯的气敏传感器件;石墨烯表面沉积一维氧化锌薄膜;一维氧化锌呈笔头状;一维氧化锌的直径为100‑200nm,长宽比大于3,笔尖宽度为10‑100nm。本发明制备得到的气敏传感元件对丙酮气体具有响应快速,灵敏度高,操作温度低,同时对丙酮气体具有较高选择性。
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