高灵敏度微纳巨压阻雨量传感器及其制备方法、测量结构

本发明公开一种高灵敏度微纳巨压阻雨量传感器及其制备方法、测量结构，传感器包括传感器阵列，传感器阵列单元包括多个硅铝异质结的传感单元、供电电极对、信号检测引出电极对、参考引出电极对；各传感单元包括两个硅铝异质结的压力敏感结构、硅底层、绝缘二氧化硅层和硅顶层；两个结构与特性一致硅铝异质结平行设置在传感器两端，硅铝异质结侧部设置激励电极和检测电极。本发明在应用时，通过雨量压力引起传感器芯片形成机械应力使改变硅铝异质结的接触势垒大小，来实现巨压阻效应；作为参考部分的铝异质结伏安特性改变不是由受力引起，可作为差分的参考电路排除温度的影响。本发明测量灵敏度高，准确，适用于高精度的雨量测量场合。