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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种基于MEMS的电容式红外气体传感器
申请号 | CN201610331591.X | 分类号 | |
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申请日期 | 2016-05-18 | 有效期 | |
公开日期 | 2019-04-23 | 公开号 | CN105823749B |
发明人/设计人 | 顾**敏 | 权利人 | 南**学 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
一种基于MEMS的电容式红外气体传感器及其制备方法,该传感器以阵列的形式布置,通过对比分析特定波长下红外光强度的变化来测定CO、CH4、SO2的浓度,并采用电容作为感应元件。此外,太阳辐射检测技术在监测天气气候状况、预测未来天气、农业生产、太阳能开发等都有着重要意义,大气臭氧层的损耗,照射到地面的太阳光紫外线增强,使得人们越来越关注太阳辐射的变化。本发明设计的传感器还带有一个简便系统,可以用于太阳辐射量检测。本发明的电容式红外气体传感器制作与CMOS工艺兼容,易于板上集成,传感器采用电容作为感应元件,温度漂移低、精度高。
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