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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
基于自混合干涉的共焦点激光显微镜及其扫描方法
申请号 | CN201510103081.2 | 分类号 | |
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申请日期 | 2015-03-09 | 有效期 | |
公开日期 | 2017-10-20 | 公开号 | CN104729424B |
发明人/设计人 | 宦**松 | 权利人 | 南**学 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明公开了一种基于自混合干涉的共焦点激光显微镜,包括氦氖激光器、由凹透镜和凸透镜组成的扩束准直透镜组、可变中性密度滤光片、物镜、两维运动平台、一维运动平台、精密运动平台控制器、光电探测器、电流/电压转换电路、滤波器、放大器、模/数转换电路以及计算机单元;利用激光自混合干涉和共焦点原理进行显微扫描的方法,综合了激光自混合技术的结构简单、易准直的优点和共焦点显微镜轴向分辨力高、抗干扰能力强的特点,解决了共焦点激光显微镜的自动对焦问题和扩大测量视野的问题,简化了传统共焦点显微镜的结构,减小共焦测量系统中反射光路的调整难度,弥补了传统共焦点显微镜的所需光学元件多、对光学元件要求高、光路复杂调节难度高的特点。
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