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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器及其测量电路、标定系统和制备方法
申请号 | CN201610283834.7 | 分类号 | |
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申请日期 | 2016-04-29 | 有效期 | |
公开日期 | 2018-09-14 | 公开号 | CN105762272B |
发明人/设计人 | 张**翔 | 权利人 | 南**学 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明公开了一种基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器、测量电路、标定系统及制备方法,包括受力底座和压电式传感单元,压电式传感单元包括两个水平方向平行且间隔设置的传感器芯片;传感器芯片包括依次层叠设置的基底层、粘合层、氧化锌种子层、PR窗口层、PDMS保护层、金属电极层;氧化锌种子层设有一个下电极;PR窗口层设有深槽,深槽中垂直生长着氧化锌纳米阵列,氧化锌纳米阵列与金属电极层之间接触形成应变敏感的肖特基势垒;金属电极层设有两个电极。本发明采用了垂直结构的氧化锌纳米阵列,利用氧化锌纳米阵列与金电极形成的肖特基异质结的巨压电效应极大地提升了传感器的灵敏度,实现了更高灵敏度与精确度的应变检测。
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