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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
基于巨压阻结构的悬臂梁生化传感器及悬臂梁制作方法
| 申请号 | CN201610318148.9 | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2016-05-12 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2017-12-15 | 公开号 | CN105974104B |
| 发明人/设计人 | 张**莉 | 权利人 | 南**学 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明提供一种基于巨压阻结构的悬臂梁生化传感器及悬臂梁制作方法，该传感器的数据采集器采用具有硅铝异质结形成的巨压阻结构的悬臂梁结构，能够在相同应力条件下产生更大的电阻阻值变化，从根本上提高了生化传感器的灵敏度；采用两个相邻的共模信号补偿结构，能够保证该生化传感器的每个悬臂梁在复杂外界环境下的测量精度，降低了因个别悬臂梁失灵对测量结果产生的影响；另外，该传感器采用四线制测量方法以及信号的放大、滤波调理电路，可得到较为精准的信号，削弱噪声等外界因素对检测结果的影响，可以达到高精度、稳定测量的效果。
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