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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法
| 申请号 | CN201811445726.0 | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2018-11-29 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2019-01-25 | 公开号 | CN109267010A |
| 发明人/设计人 | 费**远 | 权利人 | 南**学 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明涉及一种钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，借助双阴极辉光等离子放电作用在不锈钢箔基体表面溅射沉积钛氧化合物薄膜，将基体用丙酮进行超声清洗；之后将预处理好的基体放入等离子体炉内的试样台上完成样品表面钛氧化合物薄膜的制备。本发明以高纯金属元素为靶材，为了提高元素反应的供应量和供应效率，在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电，成膜仅需要10‑30min。本发明得到的薄膜与基体之间发生了互渗，因此基体与薄膜之间的结合强度高。本发明得到的薄膜表面质量高，且制备方法成本低，无污染，工艺流程较为简单，对基体本身的性能几乎无影响，不损伤基体。
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