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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
采用水溶液凝胶法制备含钽/铌的叠层介电薄膜的方法
| 申请号 | CN201310310178.1 | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2013-07-23 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2015-05-27 | 公开号 | CN103387391B |
| 发明人/设计人 | 周**润 | 权利人 | 武*学 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明涉及采用水溶液凝胶法制备含钽/铌的叠层介电薄膜的方法，包括有以下步骤：1)将过氧-Ta-柠檬酸溶液或过氧-Nb-柠檬酸溶液；MgCO3或ZnCO3;BaCO3或CaCO3进行混合，加入柠檬酸，加水作为溶剂，溶解，搅拌，加氨水，直至变为澄清的溶液，继续搅拌，得到稳定透明的前驱体溶液；2)滴于基片上，涂敷，在热板上干燥；3)在500~600℃热分解，完成一层薄膜的旋涂；4)重复制备多层薄膜；5)将多层薄膜，热处理，即得。本发明的有益效果在于：制备工艺简单，成本低廉，对环境更加友好，适用于工业化应用。
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