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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
微波等离子体化学气相沉积装置
| 申请号 | CN201510747695.4 | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2015-11-06 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2018-05-01 | 公开号 | CN105239057B |
| 发明人/设计人 | 涂**盟 | 权利人 | 武*学 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括微波源、中频感应加热器和石英管反应室，微波源与导入微波的矩形波导管连接；石英管反应室呈哑铃结构，矩形波导管套在石英管反应室的细颈处，使矩形波导管与石英管反应室的细颈之间形成微波谐振腔；石英管反应室的上粗颈通过原料气进气装置与原料气源连接；中频感应加热器的线圈围设在石英管反应室的下粗颈处；石英管反应室的下粗颈内设有底座，底座通过可升降的粗陶瓷管与热电偶连接，热电偶上依次设有基板座、基板；底座通过细陶瓷管与石墨台连接。本发明能准确、大范围的控制基板温度，提高微波等离子体的生成质量。
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