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专利介绍
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基本信息
一种钙钽基微波介质薄膜及其制备方法
| 申请号 | CN201310112040.0 | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2013-04-02 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2014-12-03 | 公开号 | CN103214242B |
| 发明人/设计人 | 周**越 | 权利人 | 武*学 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
一种钙钽基微波介质薄膜及其制备方法。该薄膜由氧化物形式的Ca和Mg及Ta与Ni、Zn或Co组成，以通式Ca(Mg1-x/3Ax/3Ta2/3)O3表示，式中0.1≤x≤0.9，A为二价Ni、Zn或Co元素。该薄膜材料相对介电常数εr≥25；品质因子Qf≥19000；谐振频率温度系数为-10ppm/℃≤τf≤10ppm/℃。该薄膜采用Pechini方法制备微波介质薄膜溶液，使用液相旋涂，在氧气氛下热处理以制得钙钽基微波介质薄膜。本微波介质薄膜可用于各种介质谐振器、滤波器等各种微波器件的制造，可满足移动通信、卫星通信等系统的技术需要，特别在微波集成电路中对微波电炉的集成化和薄膜化具有重要作用。
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