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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
具有不同排列方式的异质结构介电薄膜及其制备方法
| 申请号 | CN200810048174.X | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2008-06-25 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2012-04-25 | 公开号 | CN101312079 |
| 发明人/设计人 | 周**君 | 权利人 | 武*学 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明公开了一种具有不同排列方式的Ca(Mg1/3Nb2/3)O3/CaTiO3异质结构介电薄膜材料及其制备方法。采用多种不同的复合叠加方式，获得了具有不同相结构和介电性能的异质结构介电薄膜材料，并证明薄膜层的排列方式对异质薄膜的结构与性能有较大影响。在非周期性重复排列方式中，仅有CaTiO3-CaMg1/3Nb2/3O3排列方式的异质介电薄膜具有单一的钙钛矿结构，而且薄膜表面均一致密。周期单元周期性重复排列方式中，改变排列方式不影响薄膜的结构，不同叠层结构均具有单一钙钛矿结构，薄膜表面均一致密。相对于非周期重复排列薄膜，周期单元周期性重复排列方式提高了异质薄膜的介电性能，而介电损耗较低。本发明的CaMg1/3Nb2/3O3/CaTiO3异质结构的介电薄膜，适用于薄膜化与小型化的微波通信领域介质元件。
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