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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种介电-压电复合薄膜移相器
申请号 | CN201410324263.8 | 分类号 | |
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申请日期 | 2014-07-09 | 有效期 | |
公开日期 | 2017-01-04 | 公开号 | CN104078725B |
发明人/设计人 | 周**纯 | 权利人 | 武*学 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明属于微波工程技术领域,具体的说是涉及一种介电‑压电复合薄膜移相器,它包括介质基底、条形驱动电极、压电薄膜、介电薄膜以及叉指式共面波导传输线,所述条形驱动电极设在介质基底上,压电薄膜沉积在条形驱动电极上,介电薄膜沉积于压电薄膜上,叉指式共面波导传输线沉积在介电薄膜上。该移相器通过压电薄膜的逆压电效应控制介电薄膜的尺寸,从而达到移相的目的。通过介电压电薄膜的复合,可降低移相器在微波段的损耗,并具有工艺简单,尺寸小,损耗小,驱动电压小,性能稳定等优点。
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