全光纤F-P氢气传感器及其氢气敏感膜的制备方法

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专利号CN104266975B
申请日2014-09-12
专利类型: 未知
发明人童**畔
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刘欢

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基本信息

全光纤F-P氢气传感器及其氢气敏感膜的制备方法
申请号 CN201410465506.X 分类号
申请日期 2014-09-12 有效期
公开日期 2016-08-31 公开号 CN104266975B
发明人/设计人 童**畔 权利人 武*学
专利类型 未知 十象顾问 刘欢 联系TA

摘要介绍

本发明是一种全光纤F‑P氢气传感器及其氢气敏感膜的制备方法,传感器结构主要由全光纤F‑P谐振腔、敏感膜定向膨胀限制块、固定部件、传感器封装部件等组成;采用脉冲激光沉积工艺在较低的温度下直接将一定厚度的Pd‑Ag合金敏感膜沉积于全光纤F‑P谐振腔敏感玻片的外层,敏感膜定向膨胀限制块的一面通过固定部件仅仅与敏感膜相接触,限位膨胀块为多孔陶瓷材料,可以吸收氢气,当敏感膜吸收氢气发生定向膨胀,压缩减小F‑P的腔长,通过对全光纤F‑P谐振腔腔长解调,测量氢气浓度变化。该制备方法保证光纤的低温镀膜,传感器的结构简单,制备方便,易于实现产业化。

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