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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法
申请号 | CN201910491332.7 | 分类号 | |
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申请日期 | 2019-06-06 | 有效期 | |
公开日期 | 2020-12-29 | 公开号 | CN110360923B |
发明人/设计人 | 辛**伦 | 权利人 | 杭**学 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明公开了一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法;相移干涉仪包括激光发射器、准直镜、分光器、参考镜面、被测物、凸透镜、镜面旋转器和CCD相机,所述激光发射器、准直镜、分光器、被测物分布与同一轴线上,所述参考镜面和成像镜头分布于分光器的前测和后测,所述镜面旋转器位于被测物底部;通过旋转被侧面的角度达到相移的目的,而不使用传统的相移器,物体无需在轨道上移动,如此便可以节省空间,使干涉仪不在受到长度的限制。
交易保障
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平台严选专利
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用户隐私 绝密保护
平台承诺用户隐私信息绝对
保密,不外传、不他用
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