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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种化学机械抛光机
申请号 | CN202010032450.4 | 分类号 | |
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申请日期 | 2020-01-13 | 有效期 | |
公开日期 | 2021-05-11 | 公开号 | CN111203807B |
发明人/设计人 | 刘*平 | 权利人 | 诸**司 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本发明公开了一种化学机械抛光机,其结构包括机箱、工作台、工件放置座、密封抛光结构、机座、驱动箱,工作台水平安装于机箱上端,工件放置座嵌入安装于工作台内侧,密封抛光结构位于工件放置座正上方,密封抛光结构竖直安装于机座下端,驱动箱嵌入安装于机座内侧,密封抛光结构包括密封结构、连接座、卡板、旋转轴、活动结构,密封结构水平安装于连接座下端,旋转轴竖直安装于卡板上端,活动结构活动连接于连接座上端,本发明在连接座下端设置了密封结构,防止粉尘飘出,进而保护了工作台内侧,使工件放置座的切换更加顺畅;在连杆结构下端设置了密封板,防止粉尘飘出,并且更好的对粉尘进行收集,减少了粉尘的附着。
交易保障
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平台严选专利
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