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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种集成电路生产的基片涂层烘干箱
| 申请号 | CN202021793280.3 | 分类号 | |
|---|---|---|---|
| 申请日期 | 2020-08-25 | 有效期 | |
| 公开日期 | 2021-06-01 | 公开号 | CN213315998U |
| 发明人/设计人 | 吴*祥 | 权利人 | 江**司 |
| 专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本实用新型属于集成电路生产领域，具体为一种集成电路生产的基片涂层烘干箱，包括烘干机构、加热机构，所述烘干机构包括箱体、箱门、观察窗、支撑板、双向螺纹杆，所述箱体前部通过螺钉连接的铰链支撑有所述箱门，所述箱门远离所述铰链的一端通过螺钉连接有锁扣，所述箱门前部靠近所述锁扣的一侧安装有箱门把手，所述箱门上嵌入有所述观察窗，所述箱体内侧壁上固定有所述支撑板，所述支撑板上转动连接有所述双向螺纹杆，所述双向螺纹杆上通过螺纹连接有两个位移块。本实用新型采用设置在箱体外部的转动把手带动双向螺纹杆转动，因此不会加热转动把手，也就不会烫伤人员。
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