一种光电元器件加工用离子注入装置

本实用新型公开了一种光电元器件加工用离子注入装置，包括箱体、支撑腿、底板、保护箱，所述箱体下方设置有所述支撑腿，所述支撑腿下方设置有所述底板，所述支撑腿之间设置有所述保护箱，所述保护箱内部设置有电机，所述电机上方设置有联轴器，所述联轴器上方设置有转轴，所述箱体内部设置有工作台，所述工作台上方设置有高压转角缸，所述高压转角缸之间设置有保护垫。有益效果在于：本实用新型通过设置高压转角缸和保护垫，对光电元器件进行固定的同时也保证了光电元器件的安全，避免了对光电元器件造成损坏，通过设置第一电动滑块和第二电动滑块，可以将离子喷头调节至不同的位置，保证了离子注入工作的顺利完成。