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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
单硅晶片生产用甩干装置
申请号 | CN202020218832.1 | 分类号 | |
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申请日期 | 2020-02-27 | 有效期 | |
公开日期 | 2020-11-27 | 公开号 | CN212030032U |
发明人/设计人 | 沈*琴 | 权利人 | 浙**司 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本实用新型公开了单硅晶片生产用甩干装置,包括甩干装置壳体、控制箱、旋转甩干机构、热吹风机构,所述甩干装置壳体右侧设置有所述控制箱,所述甩干装置壳体内部设置有所述旋转甩干机构,所述旋转甩干机构上部设置有所述热吹风机构。有益效果在于:通过所述甩干装置壳体实现装置的密封,提高甩干装置的密封性,通过所述旋转甩干机构和所述热吹风机构实现对单硅晶片的甩干,通过干燥的质量和干燥速度,保证干燥过程的清洁度。
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