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专利介绍
平台严控核验 保障专利真实有效
基本信息
一种半导体加工用废料收集设备
申请号 | CN202122018442.7 | 分类号 | |
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申请日期 | 2021-08-25 | 有效期 | |
公开日期 | 2022-03-22 | 公开号 | CN216098232U |
发明人/设计人 | 林*虹 | 权利人 | 林*虹 |
专利类型 | 未知 | 十象顾问 | 刘欢 联系TA |
摘要介绍
本实用新型涉及半导体技术领域,且公开了一种半导体加工用废料收集设备,包括外壳,所述外壳的内部开设有滑槽,所述外壳的外壁固定安装有电机,所述电机的输出轴通过联轴器固定安装有第一螺纹杆,所述第一螺纹杆的外壁螺纹连接有螺纹块,所述螺纹块的外壁固定安装有连接板,所述连接板的底部固定安装有限位桶,所述限位桶的内壁滑动连接有限位柱,所述限位柱的一端固定安装有挡板,所述挡板的顶部固定安装有弹簧,所述挡板的底部固定安装有刮板,所述外壳的底部固定安装有限位板。该半导体加工用废料收集设备,可以使得该装置便于对废料进行刮除清理,提升了工作人员清理的效率,同时刮板具有一定的缓冲性,避免了刮除过程中对工作台的损耗。
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